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金相显微检查系统

 

产品特点

产品特点:

1、NS-503RT可以实现X、Y方向105mm/158mm的移动范围。


2、全新设计的长工作距专业金相物镜,高倍物镜采用半复消技术。


3、各种观察方法下都能得到清晰锐利与高对比度的显微图像。


4、附件齐全,配置完善,可灵活进行系统组合与功能拓展。


5、人机工程学设计、坚实可靠的系统结构。


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技术参数

可选择的观察方法

明场/斜照明/偏振光/DIC

明场/斜照明/偏振光/DIC/透射光

光学系统

无限远色差校正光学系统

目镜

PL10X/22平场高眼点目镜

物镜

LMPL无限远长工作距金相物镜

观察筒

30°铰链式三目,分光比,双目:三目=100: 0或50:50

转换器5孔内倾式转换器,带DIC插槽
载物台

4"双层机械移动平台,行程105x 105mm;带金属平板平台,右手位X、Y移动手轮,配平台接口

4"双层机械移动平台,行程105x 105mm;带玻璃平台,右手位X、Y移动手轮,配平台接口

显微镜镜体

粗微调同轴、粗调行程33mm,微调精度0.001mm,带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器,单路电源输出

粗微调同轴、粗调行程33mm,微调精度0.001mm,带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器,双路电源输出

反射照明器系统

带可变视场光阑与孔径光阑,均可调中心;带滤色片插槽与偏光装置插槽;带斜照明切换拉杆。单颗大功率5W LED,白色,光强连续可调

透射照明系统/

单颗大功率5W LED,白色,光强连续可调。N..A.0.5聚光镜,带可变孔径光阑



系统介绍


大行程移动平台设计

◆NS-503RT机型采用4'/6'平台设计,

  可适用于相应尺寸的晶圆或FPD检测,

  也可用于小尺寸样品的阵列检测。

◆NS-503RT: 4英寸平台,移动范围: 105mmX

  105mmNS-503RT:6英寸平台,反射照明移动范围:

  158mmX158mm,透射照明移动范围100mmX100mm;

  带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动。

◆通过使用平台适配接口,所有平台可在NS-503RT机型

  之间通用。

超长工作距金相物镜

◆全新设计的超长工作距物镜,采用半复消色差技术,

  并使用多层宽带镀膜技术,使整个视场内的成像清晰锐利,

  色彩自然,明亮舒适。

◆超长的工作距离设计,50X的有效工作距离达到7.8mm,

  100X物镜也达到了2.1mm,

  大幅拓展了NS-503RT机型的应用领域,

  5X、10X、20X物镜的设计,通过精选材料及优化设计,

  使DIC微分干涉观察的性能非常出色。

◆同步设计了全套明暗场两用物镜,适用于NS-503RT机型,

  暗场照明亮度比传统暗场物镜提高2倍以上。

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高性能物镜转换器

◆NS-503RT机型的转换器采用精密轴承设计,转动手感

  轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得

  到较好的控制,根据NS-503RT机型配置及功能的不同,

  可以选择不同型号的转换器。

PI103C5型: 5孔明场转换器,用于NS-503RT机型

PI103C5I型: 5孔明场转换器,带DIC棱镜插槽,

  用于NS-503RT机型。

PI103C5BD型: 5孔明暗场转换器,用于NS-503RT机型

PI103C5BD|型: 5孔明暗场转换器,带DIC棱镜插槽,

  用于NS-503RT机型。

宽视场铰链式三目观察筒

MXETH25R型正像铰链三目观察筒,

  所成像的方位与物体实际方位一致,

  物体移动的方向跟像面移动的方向相同,

  便于观察与操作,适用于6英寸移动平台配合使用。

MX4RTH30R型铰链三目观察筒,

  适用于4英寸平台配合使用。

两种类型的观察筒可以在NS-503RT机型内通用。

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安全、稳重的机架结构设计

工业检测级显微镜体,低重心、高刚性、高稳.定性金属

  机架,极大的提高的系统的抗振能力与成像的稳定性。

前置低手位粗微同轴调焦机构,内置90-240V宽电压变压器,可以适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统,长时间使用也不会使机架过热。

不同的照明器可供选择

明场反射照明器:单颗大功率5W白色LED照明,

  带斜照明机构,适用于NS-503RT机型。

明场反射照明器: 12V100W卤素灯照明,带斜照明机构、

  适用于NS-503RT机型。

  明暗场反射照明器: 12V100W卤素灯照明,

  并带有光强预设功能,可快速切换到预设亮度。

  带明暗场切换机构、适用于NS-503RT机型。

透射照明: NS-503RT均可使用透反两用机型。

  透射光源为单颗大功率

  5W白色LED,并带有N.A.0.5聚光镜。

  透射照明与反射照明可独立控制,

  即透反照明可同时开启,亦可单独开启。

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明场观察(反射)

远心柯拉反射照明系统,配以全新设计的无限远平场消色差

长工作距金相物镜,从低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、

明亮的高画质显微图像。

明场观察(透射)

5W大功率LED,配以N.A.0.5聚光镜,可以透照明下,

观察LCD彩色液晶显示屏,器件框架边缘等。

透射照明与反射照明为独立控制,即可同时亮,也可单独亮。

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斜照明

使用斜照明,可以使物体表面不同材质部分呈现立体图案,

增加观察的对比度与视觉效果。斜照明功能只限于NS-503RT机型。

暗场观察

将暗场照明拉杆拉到指定位置,即可使用暗场功能,

可以观察物体表面的各种划痕、杂质点及其他细微缺陷,

暗场功能只限于NS-503RT机型。

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简易偏光观察

将起偏镜及检偏镜插板插入照明器的指定位置,即可进行

简易偏光观察。检偏镜可分为固定式和360°旋转式两种

DIC微分干涉观察

在正交偏光的基础上,插入DIC棱镜,

即可进行DIC微分干涉相衬观察。

使用DIC技术,可以使物镜表面微小的高低差产生明显的浮雕效果,极大的提高图像的对比度。

5X、10X、 20X专为DIC设计,使得整个视场的干涉色一致,

微分干涉效果非常出色,高倍物镜DIC效果也较好。


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应用案例




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