产品特点
新型、数字化测量显微镜。主要用于生产车间、计量检测室的产品零件尺寸检测。广泛采用LED照明,根据镜筒、照明装置、升降机 构、物镜，以及对焦机构的选择不同，有多种型号可供用户选择。
产品特点： 1、高质量光学镀膜层的部件,造就了优质的光学系统； 2、大变倍比、高分辨率、像质好； 3、符合人机工程学的结构设计,长时间使用不感疲劳； 4、明/暗场/DIC 等视场观查，图像清晰，视场宽阔； 5、采用进口精密丝杆传动，定位更准确； 6、对大尺寸测量特别有利的载特台快速移动机械； 7、Z轴采用大型粗微调手轮，可实现工件准确对焦, 可以2um微调； 8、X轴与Y轴均采用内置式调零开关； 9、Z轴采用IKO直线导轨，保证了Z轴的高精度； |
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技术参数
配置 参数 | ||
测量范围（X*Y*Z） | 300mm*200mm*150mm | |
工作台 | 铝合金台面 | 460mm*360mm |
玻璃台面 | 360mm*260mm | |
承重 | 10KG | |
影像及测量系统 | CCD | 1/2" 500万像素高分辨率彩色相机 |
三目观察筒 | 三目观察筒(分光比50:50)WH10X目镜，0.5X CTV接口 | |
物镜 | 5X物镜（明场无限远,DIC）,5X/0.13WD10.8mm | |
10X物镜（明场无限远,DIC）,10X/0.25WD10.0mm | ||
20X物镜（明场无限远,DIC）,20X/0.40WD4.0mm | ||
50X物镜（明场无限远,DIC）,50X/0.40WD7.8mm | ||
显示分辨率 | 0.0001mm | |
测量精度 | X/Y轴 | (2+L/200)um |
Z轴（选配） | (5+L/200)μm | |
重复性 | 2μm | |
调焦系统 | 手动 | Z轴行程150mm，粗微同轴，Z小调节精度2μm |
照明系统 | 5W白色LED，反射柯勒照明系统，准直透射LED照明 | |
光学系统 | 明暗场，带有孔径光阑。偏光，微分干涉 | |
偏光装置 | 含检偏器、起偏器 | |
电脑 | 3010MT，G640/2G/500G/DVD/键鼠/+E170S液晶显示器+正版Win7-P专业版(简中文) | |
测量软件 | 二维几何量测量功能主要包括：两点间距离、点到直线的距离、角度、圆心距；十字线显示，多种寻边模式；影像支持USB输入，以BMP格式保存，影像大小640X480 | |
电 源 | 90～240V电压，50HZ | |
仪器重量 | 230KG | |
应用实例
★IC先进封装bumping尺寸测量 |
★PCB板焊脚测量 |
★IC先进封装bumping对位精度测量 |
★液晶面板TFT测量 |
