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工业系统显微镜

 

产品特点

产品特点:

1、明暗场/偏光/微分干涉


2、2.5/5/10/20/50/100倍物镜


3、BD物镜/长工作距离物镜


4、5孔/6孔编码型电动物镜转盘


5、编码型电动Z轴/手动Z轴


6、裂像法辅助对焦系统


7、效果及配置平替日本产品


8、适用于工具测量显微设备,半导体设备


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技术参数

拥有十数年高端光学显微镜代工制造经验,掌握高端光学物镜、照明系统、对焦 系统、成像系统以及相关超精密机械零部件的全产业链零部件的设计和加工能力,为代替进口高端光学显微镜而生

BXFM模块化结构适合于特殊应用,或整合进其他仪器中。反射照明无穷远光路明暗场金相显微镜系统为系列中高端机型,为广泛的材料学和工业设备应用提供了多样化的解决方案。


光学系统

 UIS2无限远校正光学系统

目镜:WHN10X*2

 超大视野目镜 EW10X/22

明暗场无限远半复消色差物镜*6

 MPLFLN 2.5X/NA0.08/分辨率4.19

 WD 10.7mm

 MPLFLN 5XBD /NA0.15/分辨率2.24um

 WD 12.0mm

 MPLFLN 10XBD /NA0.3/分辨率1.12um

 WD 6.5mm

 MPLFLN 20XBD /NA0.45/分辨率0.75um

 WD 3.0mm

 MPLFLN 50XBD /NA0.80/分辨率0.42um

 WD 3.0mm

 LMPLFLN 100XBD /NA0.80/分辨率0.42um

 WD 3.3mm

光学放大倍率

 25X,50,100X,200X,500X,1000X

观察头 :U-TR30-2

 倒像铰链式三目观察头,30°倾斜,瞳距48-75mm

观察方式

 明场,暗场

反射照明系统:BX3M-RLA-S*1光源:BX3M-LEDR*1

 24V/10W用于反射长寿命LED光源,亮度可调 寿命不低于60000小时

 柯勒照明系统,非球面集光器

 起偏镜、360度旋转检偏镜偏振装置(选配)

 起偏、检偏防尘滑块

电动转换器*1

 电动内向式同心六孔明暗场转换器,含控制器手柄和程序

对焦系统*1

 左右手均有粗微调同步可调,助力式微调最小步长精度可达 2μm,具备张力调节,高度限位;(可选装电动Z轴调焦) 

载物平台(选装)

 右手低位双层机械载物台,耐磨陶瓷涂层台面,带玻璃窗,可配专用晶圆转,采用合金钢丝传动结构,无齿条外露,移动行程满足 4~12 寸晶圆全面覆盖;预设钢丝手感张力,手感舒适定位准确,无卡顿,无回弹,低位手轮操作时手部可不离开桌面,不易疲劳,6 寸、8寸、12 寸载物台支持快动及刹车

摄像头:NMC1200*1

 科研级显微镜相机,具备操作简单、高帧率快速成像、宽动态范围、超低噪声、高灰阶宽色域等特长,采用SONY 传感器,1200万像素,曝光控制:手动/自动,RGB/对比度等独立可调,数据传输:USB3.0,内置自动对焦系统,针对不同位置高低自动对焦,对焦范围: 5X:6.4MM,10X:1.6MM,20X:0.4MM,50X:0.064MM。100X:0.016MM

适配器:U-TV1X-2*1

 摄影适配器,标准C型接口1X,选配:0.5X

软件:OPLENIC2.0*1 

 专业图像分析软件,包含二维尺寸测量,比例标尺、文字注释、图像锐化和降噪,测量报告输出,白平衡,自动/手动曝光,图像参数等调节


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